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全自动匀胶机

全自动匀胶机

1)控制系统由PLC触摸屏构成,故障率低,可靠性强,操作简单,易于维护。

2)传片方式通过导轨丝杆传动。

3)主轴使用高速直流无刷电机,带数字显示,精确控制转速。

4)自主设计开发薄膜式的喷胶泵,出胶稳定,自带回吸,保证了定量滴胶,可节省光刻胶用量。

5)效率高,双轴运动方式,上料与下料单独控制,采用双加热盘,降低等待时间。

6)设置灵活,多功能。通过一键设置,可将自动滴胶转换为手动滴胶。

7)热板控温方式为可控硅,自带超温保护系统,热板均匀性好。热板采用顶针升降,方便硅片烘烤。


                 最高转速                       6000RPM

                 转速精准度                    ≤1-4%RPM

     匀胶     滴胶手臂控制                  步进马达       

                 滴胶头位置精准               ≤0.2mm

该设备为全自动上下料匀胶设备,主要应用于3-5寸方形晶圆涂胶、烘干,采用标准片盒收放片,自动运行。该设备为单轨道形式,上料、涂胶、烘干、取料。


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