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立式甩干机SA-SV4J
立式甩干机SA-SV4J

立式甩干机SA-SV4J

1、伺服电机驱动及主轴连接技术

   1.1离心旋转冲洗甩干是设备的核心功能,旋转电机就成为设备的核心部件之一。本机采用伺服电机驱动方式,实现无极调速加减速可调。

   1.2主轴采用双作用轴承提高轴向及径向负载能力,间隙更小。轴端与转盘间采用气密封保护,隔绝外界油污及大气污染腔体。保证圆片洁净度。

2、工作腔

   工作腔体采用耐腐蚀的不锈钢焊接而成,腔体、篮架、支架等采用电解抛光钝化技术,易擦洗不生锈。

3、旋转载体及片架结构

   3.1旋转载体由不锈钢转盘和可方便更换的不锈钢片架组成,如需更换片架,只需将片架卸下,即可更换为另一种片架。

   3.2片架采用可反转式结构,放置花篮时将花篮翻转到一定角度可方便的将花篮放进片架内。

   3.3该旋转载体及片架结构不仅更换方便,而且结构简洁,冲洗和甩干时,晶片及片盒不会留下死角。

4、层流风干法

     晶片在旋转过程中,产生同一方向的气流,气流由设备门盖上方进入至上而下的气流方向,经由排风排水管道出。排风口在上方,排水口在下方。 气流经由除静电装置及高效过滤器处理微尘,满足颗粒度要求。

5、免冲水设计

     设备无需增加额外冲水功能,避免二次污染,加快干燥工艺时间。

6、轴系动平衡及减震系统

     硅片的生产中,降低生产过程中的碎片率是降低成本、提高利润的重要手段。而晶片干燥过程中震动过大、减震不良是造成碎片的主要原因。我们采用先进的现场动平衡仪,对设备的整个轴系进行动平衡。

7、系统控制技术

     7.1控制系统采用可编程逻辑控制器,彩色液晶触摸屏汉显监控。可存储多种用户工艺菜单。同时具有密码保护功能,用户只有在输入正确的密码后才可对工艺菜单进行编辑和修改,否则只能调用已经保存工艺菜单。另外,根据用户的反馈,增加了管理员密码功能,以加强对工艺菜单的保护。

    7.2设备运行过程中的工艺时间、转子速度、转速和工作状态以及故障信息等均在触摸屏上显示,使用户对设备状况做到一目了然。


立式甩干机SA-SV4J

序号

项目

主要性能指标和参数

1、

转子直径

580mm

2、

片架放置个数

4个,4寸/25片花篮

3、

旋转速度

100—800r/min

4、

使用氮气压力

使用氮气耗量

0.3—0.4MPa

5—20l/min

5、

驱动电机

伺服电机1500W

6、

系统控制

PLC

7、

显示

彩色触摸屏

8、

管件

PFA管

9、

主要功能

甩干、烘干、高效加热、桶加热

10、

外形尺寸

810*810*900mm具体尺寸以实物为准


立式甩干机SA-SV4J

该系列卧式旋转冲洗甩干机是根据目前光电行业和半导体分立器件等产业的发展情况和市场需求研发的一种冲洗甩干设备,整机采用立式装片结构,能够实现包括去离心甩干、循环风干燥、故障显示报警互锁等功能在内的全自动处理过程。


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